一種半導(dǎo)體設(shè)備的廢氣排放管道連接件及裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202122527065.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN216046085U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-03-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216046085U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-15 |
| 分類號(hào) | F16L41/02（2006.01）I | 分類 | 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施；一般絕熱; |
| 發(fā)明人 | 黃志平 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 合肥晶合集成電路股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 苗曉娟 |
| 地址 | 230012安徽省合肥市新站區(qū)合肥綜合保稅區(qū)內(nèi)西淝河路88號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)一種半導(dǎo)體設(shè)備的廢氣排放管道連接件及裝置，涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。本實(shí)用新型一種半導(dǎo)體設(shè)備的廢氣排放管道連接件，包括：廢氣排放管，所述廢氣排放管的內(nèi)腔為圓柱形；以及若干個(gè)支管，分別與所述廢氣排放管連通，若干個(gè)所述支管與所述廢氣排放管的連通部，環(huán)形分布設(shè)置于所述廢氣排放管的側(cè)壁；其中，若干個(gè)所述支管的矢量方向之和，與所述廢氣排放管內(nèi)氣流方向相同。本實(shí)用新型緩解了廢氣排放管內(nèi)粉塵堆積堵塞的問(wèn)題。 |
