多個(gè)方片式襯底用工藝夾具
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020461557.6 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN211867583U | 公開（公告）日 | 2020-11-06 |
| 申請公布號(hào) | CN211867583U | 申請公布日 | 2020-11-06 |
| 分類號(hào) | B25B11/00(2006.01)I;G03F7/30(2006.01)I | 分類 | 手動(dòng)工具；輕便機(jī)動(dòng)工具；手動(dòng)器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手; |
| 發(fā)明人 | 李瑾;冒薇;王豐梅 | 申請（專利權(quán)）人 | 蘇州研材微納科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州國誠專利代理有限公司 | 代理人 | 韓鳳 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城西北區(qū)11幢401室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種工藝夾具，尤其是一種多個(gè)方片式襯底用工藝夾具，屬于襯底加工的技術(shù)領(lǐng)域。按照本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案，所述多個(gè)方片式襯底用工藝夾具，包括能同時(shí)收納多個(gè)方片襯底的襯底托盤以及與所述襯底托盤固定連接的托盤手柄；所述襯底托盤包括兩個(gè)對應(yīng)分布的放片托，在每個(gè)放片托對應(yīng)相鄰的內(nèi)側(cè)均設(shè)置能與方片襯底適配的放片槽；通過兩個(gè)放片托上相對應(yīng)的放片槽形成能滿足方片襯底豎向放置的襯底豎向嵌置槽，兩個(gè)放片托間形成能收納豎向放置的方片襯底端角的端角收納腔。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)緊湊，能同時(shí)滿足多個(gè)襯底的手工處理需求，提高對多個(gè)襯底的手工處理便捷性，減少襯底在工藝中產(chǎn)生污染，提高對襯底處理中的可靠性。?? |
