PDMS薄膜上微米通孔陣列的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010436366.9 申請日 -
公開（公告）號 CN111569667A 公開（公告）日 2020-08-25
申請公布號 CN111569667A 申請公布日 2020-08-25
分類號 B01D67/00(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 王云翔;李瑾;冒薇;王豐梅 申請（專利權(quán)）人 蘇州研材微納科技有限公司
代理機構(gòu) 蘇州國誠專利代理有限公司 代理人 韓鳳
地址 215121江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城西北區(qū)11幢401室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種制備方法，尤其是一種PDMS薄膜上微米通孔陣列的制備方法。其利用基礎(chǔ)襯底制備得到柱體陣列，然后利用臨時鍵合膠層實現(xiàn)將PDMS薄膜設(shè)置在支撐輔助襯底上，PDMS薄膜與基礎(chǔ)襯底上的柱體陣列接觸后，將PDMS薄膜與柱體陣列間相互壓合，以使得柱體陣列內(nèi)的孔體柱能貫穿PDMS薄膜，從而在PDMS薄膜與柱體陣列分離后，能在PDMS薄膜內(nèi)制備得到微米通孔陣列；通過支撐輔助襯底以及臨時鍵合膠層對PDMS薄膜的輔助支撐，從而能有效實現(xiàn)在較薄的PDMS薄膜上制備得到通孔陣列，與現(xiàn)有工藝兼容，降低加工的成本，安全可靠。??