單片倒置式襯底用工藝夾具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020460669.X 申請日 -
公開（公告）號 CN211507599U 公開（公告）日 2020-09-15
申請公布號 CN211507599U 申請公布日 2020-09-15
分類號 H01L21/687(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 李瑾;冒薇;王豐梅 申請（專利權(quán)）人 蘇州研材微納科技有限公司
代理機構(gòu) 蘇州國誠專利代理有限公司 代理人 韓鳳
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城西北區(qū)11幢401室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種工藝夾具，尤其是一種單片倒置式襯底用工藝夾具，屬于襯底加工的技術(shù)領(lǐng)域。按照本實用新型提供的技術(shù)方案，所述單片倒置式襯底用工藝夾具，包括能支撐襯底的襯底托盤以及與所述襯底托盤固定連接的托盤手柄；在所述襯底托盤內(nèi)設(shè)置能對襯底進(jìn)行支撐的襯底支撐，在襯底支撐的上方設(shè)置襯底限位體，在襯底限位體上設(shè)置若干溢流孔，通過溢流孔能使得所述溢流孔孔底的襯底支撐露出；倒置的襯底能平放在襯底支撐上，且通過襯底限位體能將所述襯底限定在襯底支撐上。本實用新型結(jié)構(gòu)緊湊，能滿足單片襯底的手工處理需求，提高對單片襯底的手工處理便捷性，減少襯底在工藝中產(chǎn)生污染，提高對單片襯底處理的可靠性。??