三氟化氮?dú)怏w的純化方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200510085395.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN1328160C 公開(kāi)（公告）日 2007-07-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN1328160C 申請(qǐng)公布日 2007-07-25
分類(lèi)號(hào) C01B21/083(2006.01);C01B9/08(2006.01) 分類(lèi) 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 付嫚;李本東;隋希平 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 派瑞科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 邯鄲市久天專(zhuān)利事務(wù)所 代理人 中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司第七一八研究所;派瑞科技有限公司
地址 056027河北省邯鄲市展覽路17號(hào)袁曉燕
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種去除三氟化氮(NF3)氣體中N2F2雜質(zhì)的方法。以電解法制備的NF3氣體含有0.1～2％的N2F2雜質(zhì)氣體，N2F2很不穩(wěn)定，在高溫下很容易分解。本發(fā)明利用其高溫分解的特性，將一個(gè)裝有鐵、不銹鋼、銅、鎳、蒙乃爾或上述一種以上金屬填料的裂解塔加熱到100～400℃后通入含有N2F2雜質(zhì)的NF3氣體，使N2F2雜質(zhì)分解去除。本發(fā)明方法能夠很安全、有效地去除N2F2雜質(zhì)而又不引起NF3氣體的大量分解。