一種基于電學(xué)特性判斷LED器件可靠性的系統(tǒng)及其方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610031059.6 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN105676099B 公開(公告)日 2018-10-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN105676099B 申請(qǐng)公布日 2018-10-19
分類號(hào) G01R31/26;G01R31/44 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 陳煥庭;何仲全;陳建順;楊偉藝;張志鵬 申請(qǐng)(專利權(quán))人 富順光電科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 福州君誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 富順光電科技股份有限公司;漳州市卓富成智能科技有限公司
地址 363000 福建省漳州市龍文區(qū)藍(lán)田工業(yè)開發(fā)區(qū)富順光電科技園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種基于電學(xué)特性判斷LED器件可靠性的系統(tǒng)及其方法。由LCR采集模塊分別采集標(biāo)準(zhǔn)LED樣品和待測(cè)LED器件在不同負(fù)載下的電學(xué)信號(hào),并由光電探測(cè)模塊分別采集所述標(biāo)準(zhǔn)LED樣品和待測(cè)LED器件在不同負(fù)載下的光學(xué)信號(hào),控制處理模塊接收的電學(xué)信號(hào)和光學(xué)信號(hào),控制處理模塊依照特定的數(shù)學(xué)模型分別建立標(biāo)準(zhǔn)LED樣品以及待測(cè)LED器件的光強(qiáng)、負(fù)載電壓、電導(dǎo)、電容、載流子濃度之間的定量關(guān)系,進(jìn)而分別獲得標(biāo)準(zhǔn)LED樣品和待測(cè)LED器件的光學(xué)特性,并比較標(biāo)準(zhǔn)LED樣品和待測(cè)LED器件的光學(xué)特性判斷待測(cè)LED器件的可靠性。本發(fā)明可快速準(zhǔn)確評(píng)測(cè)出LED產(chǎn)品的可靠性,便于改善LED制造過程中關(guān)鍵工藝以提高產(chǎn)品品質(zhì)。