一種紫外光子計(jì)數(shù)積分成像探測(cè)器陽(yáng)極器件的加工方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310538853.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN103779149B 公開(kāi)（公告）日 2016-06-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN103779149B 申請(qǐng)公布日 2016-06-08
分類號(hào) H01J9/02(2006.01)I;H01J9/18(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 朱香平;鄧國(guó)寶 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 東莞市中科原子精密制造科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安智邦專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 中國(guó)科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所;東莞市中科原子精密制造科技有限公司
地址 710119 陜西省西安市高新區(qū)新型工業(yè)園信息大道17號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出了一種新的紫外光子計(jì)數(shù)積分成像探測(cè)器陽(yáng)極器件的加工方法，以克服傳統(tǒng)機(jī)械加工技術(shù)難以達(dá)到交叉位敏陽(yáng)極的精度，以及一般光刻技術(shù)無(wú)法精細(xì)的加工出上導(dǎo)電層及絕緣層的技術(shù)難題。本發(fā)明采用PCB加工技術(shù)，主要步驟有：預(yù)制光刻掩膜板、刻蝕陽(yáng)極圖案、模塊鍵合、光刻掩膜板精確覆蓋、飛秒激光切除絕緣材料、過(guò)孔沉銅接口連接。本發(fā)明加工精度高，工藝簡(jiǎn)潔，成品率高，成本低，能夠大規(guī)模量產(chǎn)。