一種日盲紫外像增強器空間分辨率測試裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610953657.9 申請日 -
公開（公告）號 CN106500967A 公開（公告）日 2017-03-15
申請公布號 CN106500967A 申請公布日 2017-03-15
分類號 G01M11/02(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 韋永林;賽小鋒;田進壽;盧裕;王興;徐向晏;劉虎林 申請（專利權）人 東莞市中科原子精密制造科技有限公司
代理機構 西安智邦專利商標代理有限公司 代理人 楊引雪
地址 710119 陜西省西安市高新區(qū)新型工業(yè)園信息大道17號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種色差小、球差小、加工簡單、易裝調、結構緊湊、操作簡單的日盲紫外像增強器空間分辨率測試裝置，解決了現(xiàn)有裝置球差較大，非球面鏡加工、檢驗比較困難，系統(tǒng)裝調難度較大的問題。測試裝置包括依次設置的紫外光源、毛玻璃片、分辨率測試靶、第一平行光管、紫外窄帶濾光片、光闌、第二平行光管、日盲紫外像增強器、顯微鏡，還包括管狀殼體、支座、導軌和多維調節(jié)架；顯微鏡和日盲紫外像增強器設置于多維調節(jié)架上，多維調節(jié)架設置于支座上，支座設置于導軌上，用于支撐多維調節(jié)架、紫外光源的支座在導軌軸向移動。本發(fā)明主要用于日盲紫外像增強器的空間分辨率測試，同時還可以用于紫外條紋變像管等光電器件的空間分辨率測試。