一種小型化光譜探測(cè)模組及光譜儀

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110318841.7 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN113109316A 公開(公告)日 2021-07-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN113109316A 申請(qǐng)公布日 2021-07-13
分類號(hào) G01N21/65(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 豆西博 申請(qǐng)(專利權(quán))人 東莞市中科原子精密制造科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京尚倫律師事務(wù)所 代理人 李蔚
地址 523003廣東省東莞市松山湖園區(qū)學(xué)府路1號(hào)2棟524室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開是關(guān)于小型化小型化光譜探測(cè)模組及光譜儀。該小型化光譜探測(cè)模組包括激光器,分光鏡,發(fā)射探測(cè)光路,反射探測(cè)光路,觸發(fā)器和單光子探測(cè)系統(tǒng);激光器用于產(chǎn)生激光;激光經(jīng)分光鏡分束后分成兩部分;一部分通過光電探測(cè)器產(chǎn)生觸發(fā)信號(hào),以便于單光子探測(cè)系統(tǒng)開啟;另一部分經(jīng)過發(fā)射探測(cè)光路傳輸至待測(cè)樣品;反射探測(cè)光路用于收集待測(cè)樣品表面發(fā)生光學(xué)效應(yīng)形成的反射光信號(hào),并對(duì)反射光信號(hào)進(jìn)行時(shí)域分光,然后將出射光傳輸至單光子探測(cè)系統(tǒng);單光子探測(cè)系統(tǒng)用于根據(jù)反射探測(cè)光路的出射光獲取待測(cè)樣品的光譜信息。本申請(qǐng),提高了光譜信息檢測(cè)的精確度,同時(shí)也避免了由于單光子探測(cè)系統(tǒng)開啟后采集到空信號(hào)導(dǎo)致的探測(cè)準(zhǔn)確度低的問題。