晶圓吸盤及晶圓精雕固定裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201921349072.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN210650183U 公開（公告）日 2020-06-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN210650183U 申請(qǐng)公布日 2020-06-02
分類號(hào) B24B41/06(2012.01)I;H01L21/683(2006.01)I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 張啟興 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江晶特光學(xué)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 王秋月
地址 318001浙江省臺(tái)州市椒江區(qū)開發(fā)大道東段2198號(hào)研發(fā)大樓301室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種晶圓吸盤及晶圓精雕固定裝置，涉及晶圓固定裝置的技術(shù)領(lǐng)域，本實(shí)用新型提供的晶圓吸盤具有吸附端面；吸附端面凹陷形成鏤空部和第一負(fù)壓槽，鏤空部與第一負(fù)壓槽間隔設(shè)置；晶圓吸盤設(shè)有第一流體通道，且第一流體通道與第一負(fù)壓槽流體連通；本實(shí)用新型提供的晶圓吸盤緩解了現(xiàn)有技術(shù)中晶圓吸盤對(duì)晶圓造成磨損的技術(shù)問(wèn)題。??