一種探針調(diào)節(jié)座

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022301220.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213749965U 公開(kāi)（公告）日 2021-07-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN213749965U 申請(qǐng)公布日 2021-07-20
分類號(hào) G01R1/04（2006.01）I;G01R1/067（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 楊應(yīng)俊;顏建武;王勝利 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 矽電半導(dǎo)體設(shè)備（深圳）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518172廣東省深圳市龍崗區(qū)龍城街道黃閣坑社區(qū)龍城工業(yè)園3號(hào)廠房三樓東區(qū)、五樓中西區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提出一種探針調(diào)節(jié)座。所述探針調(diào)節(jié)座包括，旋轉(zhuǎn)電機(jī)，及連接于所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)的偏心部，旋轉(zhuǎn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)偏心部旋轉(zhuǎn)；偏心部設(shè)置有輸出軸，偏心部的旋轉(zhuǎn)軸線相對(duì)于輸出軸軸線偏移距離為d；安裝部，旋轉(zhuǎn)電機(jī)安裝于安裝部；探針連接部通過(guò)第一線性運(yùn)動(dòng)部連接于安裝部，使探針連接部能夠相對(duì)于安裝部沿第一方向運(yùn)動(dòng)；線性驅(qū)動(dòng)部通過(guò)第二線性運(yùn)動(dòng)部連接于探針連接部，使線性驅(qū)動(dòng)部能夠相對(duì)于探針連接部沿第二方向運(yùn)動(dòng)；所述線性驅(qū)動(dòng)部沿同時(shí)平行于第一方向和第二方向的平面轉(zhuǎn)動(dòng)連接于偏心部輸出軸。