超高反?；魻栰`敏度薄膜材料、制備方法、磁傳感器及元件

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510052492.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN104600193B 公開(kāi)（公告）日 2017-07-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN104600193B 申請(qǐng)公布日 2017-07-04
分類(lèi)號(hào) H01L43/10;H01L43/06;H01L43/14 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 于廣華;陳喜;于泠然;張靜言 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 山東麥格智芯機(jī)電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市廣友專(zhuān)利事務(wù)所有限責(zé)任公司 代理人 于廣華;北京麥格納材科技有限公司
地址 255400 山東省淄博市臨淄區(qū)齊都鎮(zhèn)齊都路52號(hào)505室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種超高反?；魻栰`敏度薄膜材料、制備方法、磁傳感器及元件，所述超高反?；魻栰`敏度薄膜材料包括：第一Ta層，所述第一Ta層上方設(shè)置有CoxFey層，所述CoxFey層上方設(shè)置有金屬氧化層，所述金屬氧化層上方設(shè)置有第二Ta層，其中，0＜x＜100，x為整數(shù)，0＜y＜100，y為整數(shù)。本發(fā)明通過(guò)設(shè)置第一Ta層、CoxFey層、金屬氧化層和第二Ta層，易于界面軌道雜化調(diào)控各向異性場(chǎng)；又由于CoxFey層中的Co和Fe原子比例可調(diào)，可進(jìn)一步調(diào)控各向異性場(chǎng)，從而有效提高反常霍爾靈敏度。