一種低輻射鍍膜線用遮板裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021905778.4 申請日 -
公開（公告）號 CN213172547U 公開（公告）日 2021-05-11
申請公布號 CN213172547U 申請公布日 2021-05-11
分類號 C23C14/35 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 周慕蓉;羅雨瀟;付成杰;劉宇;張鐘宇 申請（專利權）人 中建材光電裝備（太倉）有限公司
代理機構 蘇州言思嘉信專利代理事務所（普通合伙） 代理人 劉巍
地址 215000 江蘇省蘇州市太倉港港口開發(fā)區(qū)長江大道189號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及磁控濺射鍍膜技術領域，具體是一種低輻射鍍膜線用遮板裝置，包括遮擋板和密封軸，所述遮擋板和所述密封軸的一端固定連接，所述密封軸的另一端設置有環(huán)套，所述密封軸上分別設置有第一密封件、第二密封件、U型無骨架油封密封圈、骨架油封密封圈、軸套和擋圈，所述第一密封件、第二密封件、U型無骨架油封密封圈、骨架油封密封圈、軸套和擋圈的外部包覆有密封套。本實用新型的有益效果是，通過設置的第一密封件、第二密封件、無骨架油封密封圈、骨架油封密封圈和擋圈，可以有效阻擋外部空氣進入磁控濺射鍍膜的工作空間內，遮擋板可以實現360度轉動，而不影響其密封性能，裝置的整體結構較簡單，而且組裝安裝都比較方便，成本低。