一種壓力傳感器敏感元件的制造工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010725399.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111855034A 公開（公告）日 2020-10-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN111855034A 申請(qǐng)公布日 2020-10-30
分類號(hào) G01L1/16;G01L9/08;C23C16/04;C23C14/04;B33Y10/00;B29C64/10 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 方舟;梁敏 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蕪湖傳方智能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 241002 安徽省蕪湖市弋江區(qū)蕪湖高新技術(shù)開發(fā)區(qū)綜合服務(wù)區(qū)A3棟3層304
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及傳感器元件技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種壓力傳感器敏感元件的制造工藝，包括基材切片、腔座打印、電極沉積和檢測(cè)封裝，其中采用的覆材機(jī)包括機(jī)臺(tái)、層印頭、調(diào)姿桿和控制器；所述機(jī)臺(tái)的外側(cè)設(shè)有調(diào)姿桿，調(diào)姿桿的端部與切片的邊緣相接觸；由于敏感元件在制造的生產(chǎn)過程中，機(jī)臺(tái)上切片安裝的定位過程耗費(fèi)了額外的時(shí)間，且在待加工切片型號(hào)發(fā)生改變時(shí)，需要對(duì)應(yīng)調(diào)整機(jī)臺(tái)上切片的定位裝置，繼而降低了覆材機(jī)的加工效率；故此，本發(fā)明通過設(shè)置在機(jī)臺(tái)上的圓環(huán)與其外部的調(diào)姿桿相配合，通過控制圓環(huán)的移動(dòng)和調(diào)姿桿的轉(zhuǎn)動(dòng)范圍，滿足不同尺寸切片在機(jī)臺(tái)上的定位精度，并優(yōu)化了切片在機(jī)臺(tái)上的定位過程，從而提升了壓力傳感器敏感元件的制造工藝效率。