一種離軸橢圓柱面鏡表面形貌的檢測(cè)裝置以及檢測(cè)方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110242401.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113008162A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-06-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113008162A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-22 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01B11/24;G01B9/023 | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 韓森;賈文昕;張凌華;韓博;李雪園;朱亦鳴;莊松林;康巖輝;俞大海;祝永進(jìn) | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 蘇州慧利儀器有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海德昭知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 郁旦蓉 |
| 地址 | 215164 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)仁愛(ài)路150號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種離軸橢圓柱面鏡表面形貌的檢測(cè)裝置以及檢測(cè)方法，屬于光學(xué)干涉檢測(cè)領(lǐng)域涉，用于檢測(cè)待測(cè)的離軸橢圓柱面鏡的表面形貌，其特征在于，離軸橢圓柱面鏡表面形貌的檢測(cè)裝置包括干涉儀，用于發(fā)射平面光波；補(bǔ)償元件，設(shè)置在干涉儀的焦前，用于將平面光波轉(zhuǎn)化為柱面光波作為檢測(cè)光，并反射干涉儀發(fā)射的平面光波作為參考光；待測(cè)鏡夾具，設(shè)置在檢測(cè)光的光路中且位于檢測(cè)光的匯聚位置遠(yuǎn)離干涉儀一側(cè)，用于固定離軸橢圓柱面鏡并調(diào)節(jié)離軸橢圓柱面鏡與干涉儀之間的位置以及傾斜角度；以及反射鏡，設(shè)置在檢測(cè)光經(jīng)過(guò)離軸橢圓柱面鏡反射形成的第一反射光的光路中且位于第一反射光的匯聚位置遠(yuǎn)離待測(cè)鏡夾具的一側(cè)。 |
