一種蒸發(fā)源的匹配方法及其裝置、鍍膜設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910562480.3 申請日 -
公開（公告）號 CN112144015A 公開（公告）日 2020-12-29
申請公布號 CN112144015A 申請公布日 2020-12-29
分類號 C23C14/24(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 龐浩;何嘉 申請（專利權）人 北京精誠鉑陽光電設備有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 100176北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟開發(fā)區(qū)興盛街17號1幢1-2層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種蒸發(fā)源的匹配方法及其裝置、鍍膜設備，用以實現(xiàn)自動匹配蒸發(fā)源和鍍膜設備的目的，從而避免采用人工進行匹配造成工作量大，且工作效率較低的問題。一種蒸發(fā)源的匹配方法，包括：確定第一標識信息，以及與所述第一標識信息對應的蒸發(fā)源設置位置，所述第一標識信息用于標識鍍膜設備中蒸發(fā)源設置位置；根據(jù)所述第一標識信息，以及預設的標識信息之間的對應關系，確定與所述第一標識信息對應的第二標識信息，所述第二標識信息用于標識蒸發(fā)源；根據(jù)所述第二標識信息，確定與所述第二標識信息對應的蒸發(fā)源，并控制將所述蒸發(fā)源匹配在所述蒸發(fā)源設置位置。??