柔性熱電堆式傳感器及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111577013.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113945295A 公開(kāi)（公告）日 2022-01-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN113945295A 申請(qǐng)公布日 2022-01-18
分類(lèi)號(hào) G01K7/04（2006.01）I;G01K7/02（2021.01）I;H01L35/32（2006.01）I;H01L35/34（2006.01）I 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 呂小松;朱萬(wàn);潘陳華;鄭文波;尹青華 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 廣東則成科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州嘉權(quán)專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 黃達(dá)榮
地址 519100廣東省珠海市斗門(mén)區(qū)珠峰大道西六號(hào)306室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種柔性熱電堆式傳感器及其制造方法，其中，柔性熱電堆式傳感器通過(guò)采用柔性基底能夠?qū)崿F(xiàn)傳感器可彎折，從而能夠更好地適應(yīng)被測(cè)物件異形的工況；通過(guò)在柔性基底上劃分線路區(qū)和非線路區(qū)，并將線路區(qū)包圍于非線路區(qū)，能夠通過(guò)非線路區(qū)對(duì)線路區(qū)的元件起到保護(hù)作用以防外部氧化滲透；柔性基底的康銅箔與單面銅箔之間通過(guò)盲孔上鍍有的銅鍍層實(shí)現(xiàn)電連接，因此能夠提高傳感器板面的平整度，以使得傳感器能夠更好地貼合被測(cè)物件，且減小了傳感器的厚度，因此，本發(fā)明的柔性熱電堆式傳感器減小了體積且能夠彎曲以貼合異形物件，因此能夠應(yīng)用于空間狹窄且被測(cè)物件異形的工況。