帶力反饋電極的MEMS加速度計

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810751612.2 申請日 -
公開（公告）號 CN109324212A 公開（公告）日 2019-02-12
申請公布號 CN109324212A 申請公布日 2019-02-12
分類號 G01P15/125 分類 測量；測試;
發(fā)明人 吳青山;鄭延景 申請（專利權(quán)）人 深圳市易聯(lián)科軟件技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518000 廣東省深圳市福田區(qū)八卦三路36棟613
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 帶力反饋電極的MEMS加速度計，使用分離的電極可以增加這種裝置的動態(tài)范圍。優(yōu)勢包括，更好的靈敏度，更好的噪聲抑制，更好的信噪比。在實(shí)施例中，加速度計包括三個硅晶片，感測電極形成的全差分電容結(jié)構(gòu)的電容器用于測量，力反饋電極形成的電容用于實(shí)現(xiàn)力反饋。這些電極被隔離在二氧化硅層上。在某些實(shí)施例中，加速度計還包括二氧化硅層、壓電結(jié)構(gòu)、吸氣層、粘接片、粘接間隔和可以對檢測質(zhì)量塊施加恢復(fù)力的力反饋電極。具有力反饋電極的MEMS加速度計可用于地球物理測量，例如用于地震傳感或聲學(xué)定位。