晶片碗型的制作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910946953.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN110718450A | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-01-21 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110718450A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-01-21 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/02;H01L33/00 | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 余勝軍;盧東陽(yáng) | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 江蘇澳洋順昌集成電路有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 大連理工大學(xué)專(zhuān)利中心 | 代理人 | 溫福雪 |
| 地址 | 223001 江蘇省淮安市景秀路6號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種晶片碗型的制作方法，步驟如下：線切割、雙面研磨、倒角、清洗、退火、分選、貼片、銅拋、化拋和清洗。本發(fā)明主要針對(duì)產(chǎn)品加工面型，在確保襯底加工面型的統(tǒng)一性，讓外延生長(zhǎng)后的BOW值變化量盡量一致化，降低拋光片的BOW、WARP波動(dòng)性，提升外延MOCVD段的性能和良率，從而提升外延生長(zhǎng)的良率和性能。 |
