一種藍寶石襯底清洗用快速旋干噴淋裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921702424.7 申請日 -
公開（公告）號 CN210349791U 公開（公告）日 2020-04-17
申請公布號 CN210349791U 申請公布日 2020-04-17
分類號 H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王樂浩;劉鵬;付星星;張海旭;孫帥;劉堅 申請（專利權(quán)）人 江蘇澳洋順昌集成電路有限公司
代理機構(gòu) 大連理工大學(xué)專利中心 代理人 溫福雪
地址 223001 江蘇省淮安市清河新區(qū)景秀路6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種藍寶石襯底清洗用快速旋干噴淋裝置，包括旋轉(zhuǎn)載臺、旋干機外壁、旋干腔體，旋干腔體以旋轉(zhuǎn)載臺的圓心為中心布置，旋干腔體內(nèi)設(shè)有晶舟盒，晶舟盒內(nèi)由上至下設(shè)有晶圓，旋干腔體內(nèi)設(shè)有用于限位晶圓位置的固定柱；還包括設(shè)置在旋轉(zhuǎn)載臺上的噴淋柱，噴淋柱上設(shè)有除靜電頭和噴頭二，噴淋柱安裝在旋干腔體內(nèi)，位于固定柱兩側(cè)，噴淋柱的底端接有管路，連通管路的一端與氣源、溶液源和除靜電發(fā)生器連接，噴淋柱表面面向晶圓方向設(shè)有除靜電頭和若干噴頭二，除靜電頭位于噴淋柱中間，噴頭二等間距排列在表面，噴淋柱的安裝高度應(yīng)高于固定桿的高度。該裝置有利于藍寶石襯底表面的充分清潔烘干，干燥更快節(jié)省時間，提高了工作效率與產(chǎn)品良率。