多線切割統(tǒng)一面型的加工方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910946952.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN110722691A | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-01-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110722691A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-01-24 |
| 分類(lèi)號(hào) | B28D5/04;B28D7/04;B28D7/02;B28D7/00;G01B21/20;G01B21/30;G01N21/88 | 分類(lèi) | 加工水泥、黏土或石料; |
| 發(fā)明人 | 余勝軍;盧東陽(yáng) | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 江蘇澳洋順昌集成電路有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 大連理工大學(xué)專(zhuān)利中心 | 代理人 | 溫福雪 |
| 地址 | 223001 江蘇省淮安市景秀路6號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種多線切割統(tǒng)一面型的加工方法，步驟如下：晶棒檢驗(yàn)、粘棒、線切割工藝選擇、切割、下片和清洗。本發(fā)明的加工方法通過(guò)對(duì)線切割來(lái)回切割的切割能力控制一樣，將線切割加工后的面型統(tǒng)一控制為馬鞍型，有利于研磨對(duì)才產(chǎn)品BOW/WARP的去除和產(chǎn)品統(tǒng)一面型的控制；線切割后產(chǎn)品馬鞍狀占比85％以上。 |
