一種靶材綁定的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010978641.X 申請日 -
公開（公告）號 CN112063986A 公開（公告）日 2020-12-11
申請公布號 CN112063986A 申請公布日 2020-12-11
分類號 C23C14/35(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 陳楓;蘇百櫻;陳宗鴻 申請（專利權(quán)）人 福建阿石創(chuàng)新材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京高沃律師事務(wù)所 代理人 福建阿石創(chuàng)新材料股份有限公司
地址 350200福建省福州市長樂市航城街道琴江村太平里169號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種靶材綁定的方法，包括以下步驟：(1)在背板和靶坯之間設(shè)置遮擋物，所述遮擋物呈框形，且所述遮擋物位于所述背板和所述靶坯之間的縫隙的邊緣；(2)對所述背板的綁定區(qū)域和所述靶坯的綁定區(qū)域進(jìn)行金屬化；(3)對所述背板和所述靶坯進(jìn)行蓋合綁定，按設(shè)計(jì)尺寸調(diào)整所述背板和所述靶坯的相對位置并在所述靶坯上進(jìn)行壓重；(4)對所述靶坯進(jìn)行降溫，降溫后扒除焊料池多余焊料，取出所述遮擋物；(5)將所述靶坯的焊層邊緣多余的焊料刮除，得到焊層邊緣向內(nèi)收縮，且焊層邊緣平整的靶材。本發(fā)明能夠避免在濺射鍍膜過程中發(fā)生靶材焊料溢流。??