一種太陽能電池板硅基片表面檢測用光學系統(tǒng)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021482545.8 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212965651U | 公開（公告）日 | 2021-04-13 |
| 申請公布號 | CN212965651U | 申請公布日 | 2021-04-13 |
| 分類號 | G02B27/09(2006.01)I | 分類 | 光學; |
| 發(fā)明人 | 邱洪榮;金浩程 | 申請（專利權）人 | 常州市奧普泰克光電科技有限公司 |
| 代理機構 | 常州格策知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） | 代理人 | 徐靜 |
| 地址 | 213000江蘇省常州市新北區(qū)羅溪鎮(zhèn)旺財路10號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開一種太陽能電池板硅基片表面檢測用光學系統(tǒng)，第一球面鏡的出光面與第二球面鏡的入光面為邊緣接觸式連接，第二球面鏡的出光面與第三球面鏡的入光面之間設有間距，微透鏡包括第一微透鏡和第二微透鏡，第一微透鏡和第二微透鏡的相對鏡面的Y軸方向均設有球面陣列結構。本實用新型采用三片球面鏡對激光光束進行準直，再經(jīng)過兩片微透鏡陣列在Y軸方向聚焦成線性光。三片球面鏡對激光發(fā)散角進行壓縮準直，微透鏡陣列在Y方向對準直后的光束進行會聚，而對X方向的光束進行發(fā)散，最終在工作面上形成長度為180?200mm，寬度為0.6?0.8mm的線性光斑，相鄰微透鏡陣列之間重合光斑區(qū)域5mm，重疊光斑優(yōu)化完成均勻度在90%左右。?? |
