一種帶溫度采樣功能的屏蔽柵器件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210403811.0 申請日 -
公開（公告）號 CN114496995A 公開（公告）日 2022-05-13
申請公布號 CN114496995A 申請公布日 2022-05-13
分類號 H01L23/544（2006.01）I;H01L29/06（2006.01）I;G01K7/01（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李偉聰;姜春亮;雷秀芳;林泳浩 申請（專利權）人 深圳市威兆半導體股份有限公司
代理機構 北京惟盛達知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 -
地址 518000廣東省深圳市南山區(qū)桃源街道福光社區(qū)留仙大道3370號南山智園崇文園區(qū)3號樓1301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于半導體器件技術領域，具體涉及一種帶溫度采樣功能的屏蔽柵器件，器件的元胞區(qū)包括多個常規(guī)元胞和多個采樣元胞，通過利用所述采樣元胞中多晶硅PN結二極管正向壓降的負溫度特性，將多晶硅PN結二極管作為溫度傳感器實時監(jiān)測屏蔽柵器件的溫度變化。由于采樣元胞與常規(guī)元胞集成，能夠更好監(jiān)測到屏蔽柵器件的內部溫度，從而在出現過溫時及時檢測，避免器件被燒毀。同時由于采樣元胞的結構相對于常規(guī)元胞微調，因此采樣元胞與常規(guī)元胞工藝兼容，采樣相同工藝步驟制作完成，不會過多增加工藝難度，節(jié)約成本。