一種微米級石英薄膜制備裝置及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711453886.5 申請日 -
公開（公告）號 CN108033669A 公開（公告）日 2018-05-15
申請公布號 CN108033669A 申請公布日 2018-05-15
分類號 C03B20/00;G01B11/06 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 王義平;何俊;許金山 申請（專利權(quán)）人 深圳市光子傳感技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市恒申知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王利彬
地址 518000 廣東省深圳市龍崗區(qū)園山街道大運軟件小鎮(zhèn)35號樓3C
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了微米級石英薄膜制備裝置及制備方法，包括壓力裝置、石英管、頂端加熱裝置、運動控制裝置、光耦合裝置、光源裝置及光譜采集裝置，壓力裝置對石英管第一端加壓，頂端加熱裝置向石英管第二端加熱，形成包含球形薄膜結(jié)構(gòu)的石英管，運動控制裝置控制包含球形薄膜結(jié)構(gòu)石英管側(cè)端與光耦合裝置第一端對齊，形成法布里?珀羅干涉儀，光源裝置發(fā)射的光源導(dǎo)入法布里?珀羅干涉儀內(nèi)形成光譜，并傳送至光譜采集裝置，光譜采集裝置對其分析，確定側(cè)端薄膜厚度，并將厚度滿足要求的側(cè)端薄膜確定為微米級石英薄膜，上述方法制備的微米級石英薄膜均勻平整，因不需研磨，操作簡單，不存在易燃、易爆或有毒氣體，不需采取防止環(huán)境污染措施，降低成本。