一種基于S參數(shù)網絡分析儀測量真空電容ESR和Q值的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010351620.5 申請日 -
公開（公告）號 CN111398693A 公開（公告）日 2020-07-10
申請公布號 CN111398693A 申請公布日 2020-07-10
分類號 G01R27/26(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 張超;劉銳;孫鵬 申請（專利權）人 江蘇神州半導體科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 225000江蘇省揚州市邗江區(qū)蜀崗西路19號1
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出一種基于S參數(shù)網絡分析儀測量真空電容ESR和Q值的方法，該方法包括：將S參數(shù)網絡分析儀的兩測試端口通過傳輸線纜連接測試夾具；將待測真空電容的兩端連接在所述測試夾具中的微帶線與地線之間；測量待測真空電容在不同頻率下的諧振頻率及該諧振頻率下的S21數(shù)值；根據(jù)待測真空電容在不同頻率下的諧振頻率及該諧振頻率下的S21數(shù)值，計算輸出該待測真空電容的ESR值和Q值。本發(fā)明所示方法首先利用S參數(shù)網絡分析儀計算出真空電容在不同頻率下的諧振頻率及該諧振頻率下的S21數(shù)值，再根據(jù)諧振頻率、S21數(shù)值與ESR和Q值之間的關系可準確計算出ESR和Q值，具有測量結果準，測試過程簡單方便的優(yōu)點。??