一種基于磁性開關控制的門閥裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920692771.X 申請日 -
公開（公告）號 CN209892772U 公開（公告）日 2020-01-03
申請公布號 CN209892772U 申請公布日 2020-01-03
分類號 F16K3/02（2006.01）; F16K3/30（2006.01）; F16K31/122（2006.01）; F16K31/06（2006.01）; F16K37/00（2006.01） 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機器或設備的有效運行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 吳斌; 羅志明; 李勇河; 袁沖; 梅小艷 申請（專利權）人 瀘州金能移動能源科技有限公司
代理機構 成都華風專利事務所（普通合伙） 代理人 瀘州金能移動能源科技有限公司
地址 646000 四川省瀘州市瀘州高新區(qū)酒谷大道5段19號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種基于磁性開關控制的門閥裝置，所述門閥裝置安裝在兩個工藝腔室之間，用于兩個工藝腔室之間的高真空隔離，所述門閥裝置包括閥殼、驅動氣缸、連接桿、傳輸通道、磁性開關和閥板；所述閥殼的一側開設有供芯片傳輸?shù)膫鬏斖ǖ?，所述傳輸通道的兩側分別連接所述門閥兩側的工藝腔室；所述閥殼內(nèi)部設置有用于隔檔所述傳輸通道的閥板；所述驅動氣缸通過所述連接桿連接到所述閥板上通過所述驅動氣缸推動所述閥板到所述傳輸通道處，實現(xiàn)兩個工藝腔室的高真空隔離；所述驅動氣缸上設置有所述磁性開關。通過在兩個驅動氣缸上加裝磁性開關傳感裝置，使應用在CIGS共蒸發(fā)鍍膜沉積設備上的矩形門閥輸出的開到位和關到位信號更加穩(wěn)定。