研磨修復裝置及硅棒加工設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022772852.6 申請日 -
公開（公告）號 CN214080919U 公開（公告）日 2021-08-31
申請公布號 CN214080919U 申請公布日 2021-08-31
分類號 B24B53/017（2012.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 錢春軍;曹奇峰;李鑫;盧建偉;張峰 申請（專利權）人 杭州聯(lián)合農(nóng)村商業(yè)銀行股份有限公司海寧支行
代理機構 上海巔石知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 張明;王再朝
地址 314400浙江省嘉興市海寧經(jīng)濟開發(fā)區(qū)雙聯(lián)路129號6號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開一種研磨修復裝置及硅棒加工設備，其中，所述研磨修復裝置包括安裝主體和至少一修磨部，所述至少一修磨部設于安裝主體上，用于修磨對應的所述至少一研磨磨具，利用研磨修復裝置的修復部與硅棒加工設備的研磨磨具的靠近和接觸以實現(xiàn)對研磨磨具的修磨，此時，可控制修磨部沿預定方向的往復運動與對應接觸的研磨磨具的旋轉以提高修磨效率，有利于硅棒加工設備進行后續(xù)的對硅棒的磨面作業(yè)。