一種常壓CVD設(shè)備的冷卻水循環(huán)系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201820474137.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN208154907U | 公開(kāi)（公告）日 | 2018-11-27 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN208154907U | 申請(qǐng)公布日 | 2018-11-27 |
| 分類(lèi)號(hào) | F25D17/02 | 分類(lèi) | 制冷或冷卻；加熱和制冷的聯(lián)合系統(tǒng)；熱泵系統(tǒng)；冰的制造或儲(chǔ)存；氣體的液化或固化; |
| 發(fā)明人 | 趙江波;余慶;張曉新;張敏森;楊勇;王艷兵;方勇進(jìn) | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 華越微電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海精晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 華越微電子有限公司 |
| 地址 | 312000 浙江省紹興市環(huán)城西路天光橋3號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種常壓CVD設(shè)備的冷卻水循環(huán)系統(tǒng)，包括熱交換器、循環(huán)水箱、循環(huán)泵、流量計(jì)、噴頭，所述的循環(huán)泵與流量計(jì)之間的管路上安裝有第一單向閥；所述的噴頭與熱交換器之間的管路上安裝有常閉閥,所述的常閉閥的兩端安裝有回路支管；所述的第一單向閥、流量計(jì)之間的管路與冷卻水進(jìn)水管之間安裝有應(yīng)急進(jìn)水管路；所述的常閉閥、噴頭之間的管路與冷卻水出水管之間安裝有應(yīng)急出水管路；所述的應(yīng)急進(jìn)水管路、應(yīng)急出水管路上分別安裝有常開(kāi)閥；所述的常開(kāi)閥之后的應(yīng)急進(jìn)水管路上還安裝有第二單向閥。采用本實(shí)用新型后，可有效避免電力異常后噴頭出現(xiàn)高溫烘烤變形異常，減少設(shè)備損失。 |
