分子束外延系統(tǒng)中GaSb襯底安裝固定用樣品架

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023235493.7 申請日 -
公開（公告）號 CN214142609U 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號 CN214142609U 申請公布日 2021-09-07
分類號 C30B25/12（2006.01）I;C30B29/40（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 陳意橋;王偉強;周浩 申請（專利權）人 蘇州焜原光電有限公司
代理機構 北京中濟緯天專利代理有限公司 代理人 于宏偉
地址 215211江蘇省蘇州市吳江區(qū)黎里鎮(zhèn)汾湖大道558號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型是針對現(xiàn)有技術中固定GaSb襯底的方法存在的易使襯底軟化、襯底的溫度均勻性不易保證的不足，提供分子束外延系統(tǒng)中GaSb襯底安裝固定用樣品架，樣品架包括筒體、鉭片和壓緊固定裝置，在筒體內表面設置有支撐結構，鉭片設置在支撐結構上，壓緊固定裝置位于鉭片上方將鉭片固定在筒體內，采用本實用新型的樣品架，不會帶來雜質，鉭片位于鉬質的筒體上設置的支撐結構上，鉭片被壓緊固定裝置固定在支撐結構上，可防止使用過程中鉭片移動，能保證加熱均勻性，鉭片具有一定的硬度，可以很好地支撐襯底，不會變形，完美地巧妙地解決了現(xiàn)有技術鉬托樣品架存在的技術問題，通過張緊力自動固定在筒體內，實現(xiàn)固定，因此，使鉭片的固定簡單、易操作。