一種基于高靈敏度相位型SPR傳感器的氣體容器泄露的檢測裝置及其檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911040552.4 申請日 -
公開（公告）號 CN112747862A 公開（公告）日 2021-05-04
申請公布號 CN112747862A 申請公布日 2021-05-04
分類號 G01M3/04;G01N21/552 分類 測量；測試;
發(fā)明人 何賽靈;劉振超 申請（專利權(quán)）人 亙冠智能技術(shù)（杭州）有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 310015 浙江省杭州市濱江區(qū)華創(chuàng)大廈701室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出了一種基于相位型SPR傳感器的氣體容器泄露的檢測裝置及其檢測方法，可以有效地解決現(xiàn)有技術(shù)中配置價格昂貴，靈敏度不夠以及檢測實時性不夠且操作復(fù)雜等缺點。系統(tǒng)包括：激光器、起偏器、棱鏡相位調(diào)制模塊、SPR傳感模塊、SPR傳感氣室、氣壓平衡裝置（或者抽氣裝置）、待檢測氣體容器、檢偏器、光強探測器，激光光源發(fā)出的光經(jīng)過起偏器，變成線偏光，經(jīng)過棱鏡相位調(diào)制模塊，被調(diào)制為具有不同相位的橢偏光，再經(jīng)過SPR傳感氣室內(nèi)的SPR傳感模塊，最后經(jīng)過檢偏器和光強探測器測量并計算得到SPR傳感的攜帶氣體折射率信息的相位響應(yīng)值，最終通過相位響應(yīng)值的變化來表征氣體容器的泄漏狀態(tài)。