一種異質(zhì)結(jié)疊瓦太陽能電池的切片方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810711064.0 申請日 -
公開（公告）號 CN110676163B 公開（公告）日 2022-02-08
申請公布號 CN110676163B 申請公布日 2022-02-08
分類號 H01L21/304（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃輝明;莊輝虎;羅騫;張杰;宋廣華 申請（專利權(quán)）人 福建鉅能電力有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 351111福建省莆田市涵江區(qū)國歡東路655號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種異質(zhì)結(jié)疊瓦太陽能電池的切片方法，包括如下步驟：在n型硅片一面沉積薄層本征非晶硅層及n型非晶硅層，另一面沉積薄層本征非晶硅層及p型非晶硅層，并在n型非晶硅層和p型非晶硅層上沉積導(dǎo)電膜層；在n型硅片n面與p面的四周及切割區(qū)域的導(dǎo)電膜層上印刷蝕刻膏；在印有蝕刻膏的n型硅片進(jìn)行烘烤，清洗去除n型硅片上印有蝕刻膏區(qū)域的非晶硅層和導(dǎo)電膜層；在n型硅片導(dǎo)電膜層上形成金屬柵線電極；在n型硅片切割區(qū)域用激光切割成若干均等的小片n型硅片。本發(fā)明采用印刷的方式在n型硅片的雙面邊緣及切割區(qū)域印刷蝕刻膏，將非晶硅層和導(dǎo)電膜層去除，提升異質(zhì)結(jié)疊瓦太陽能電池的性能和可靠性，工藝過程簡單，利于大規(guī)模自動(dòng)化生產(chǎn)。