一種芯片生產(chǎn)用清洗設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201920796640.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN210207808U | 公開（公告）日 | 2020-03-31 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN210207808U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-03-31 |
| 分類號(hào) | B08B3/02(2006.01)I | 分類 | 清潔; |
| 發(fā)明人 | 張益銘 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海芯強(qiáng)微電子股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 200040上海市靜安區(qū)南京西路1486號(hào)3號(hào)樓422室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種芯片生產(chǎn)用清洗設(shè)備，包括基座，所述基座底部外壁的兩側(cè)均焊接有支架，且基座的頂端焊接有封閉框，所述封閉框的兩側(cè)均開有通口，且封閉框的頂端外壁設(shè)置有供水機(jī)構(gòu)，所述基座頂端的一邊焊接有烘干箱，且烘干箱內(nèi)設(shè)置有烘干組件，所述封閉框的頂端內(nèi)壁設(shè)置有噴淋清洗機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型機(jī)械化噴水清洗，能夠通過水泵抽液的方式在芯片上進(jìn)行噴淋清洗液，快速全面清潔，提高了芯片的清洗效率，能夠通過烘干風(fēng)機(jī)吹風(fēng)烘干的方式，加速芯片干燥，能夠有效節(jié)省芯片干燥時(shí)間，提高了芯片加工的生產(chǎn)效率，且設(shè)置斜板能夠通過斜板將芯片滑出。?? |
