一種光刻機運動臺反力抵消裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110450769.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113176714A 公開（公告）日 2021-07-27
申請公布號 CN113176714A 申請公布日 2021-07-27
分類號 G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 張俊杰 申請（專利權）人 上海圖雙精密裝備有限公司
代理機構 上海海貝律師事務所 代理人 宋振宇
地址 201712上海市青浦區(qū)久遠路157號1幢1層東側
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種光刻機運動臺反力抵消裝置，包括機體；所述機體主要由外殼、底座和運動臺組成，所述運動臺底端通過螺栓固定安裝在底座上側，所述運動臺主要由放置板和底板組成，所述放置板位于底板上側，所述放置板和底板之間設置有軟連接件，所述放置板和底板之間四周設置有減震組件，所述減震組件主要由插桿和插筒組成，所述插桿上端通過螺栓固定安裝在放置板底端，所述插桿底端插入插筒內部，所述插筒內部位于插桿底端位置設置有彈簧，所述彈簧底端焊接在插筒內部底端。本發(fā)明在使用的過程中，減震組件能夠對運動臺的反力進行抵消，運動臺在受力的過程中，減震組件內部的彈簧將會受到壓力進行收縮，對壓力進行緩沖。