一種用于光刻機(jī)上的真空檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110451054.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113176715A 公開（公告）日 2021-07-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN113176715A 申請(qǐng)公布日 2021-07-27
分類號(hào) G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 張俊杰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海圖雙精密裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海海貝律師事務(wù)所 代理人 宋振宇
地址 201712上海市青浦區(qū)久遠(yuǎn)路157號(hào)1幢1層?xùn)|側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于光刻機(jī)上的真空檢測(cè)裝置，包括底座，底座上側(cè)安裝有上罩體，上罩體內(nèi)頂部設(shè)有滑槽，且滑槽內(nèi)安裝有Y軸絲桿和Y軸滑塊，且兩個(gè)Y軸滑塊之間安裝有橫向支撐板，橫向支撐板下側(cè)通過支臂安裝有X軸絲桿和X軸滑塊，X軸滑塊下側(cè)安裝有Z軸電動(dòng)推桿，Z軸電動(dòng)推桿下側(cè)通過安裝座安裝有真空檢測(cè)裝置，上罩體內(nèi)部一側(cè)通過第一連接桿安裝有第一定位夾座，上罩體內(nèi)部另一側(cè)通過第二連接桿安裝有第二定位夾座，第二連接桿通過齒輪組傳動(dòng)連接有第一電機(jī)，本發(fā)明通過設(shè)有的Y軸絲杠、X軸絲杠和Z軸電動(dòng)推桿，使得便于對(duì)真空檢測(cè)裝置沿Y軸、X軸和Z軸移動(dòng)調(diào)節(jié)處理，從而滿足不同位置的檢測(cè)處理，有利于提高檢測(cè)的效率。