一種光刻機(jī)的溫度變頻調(diào)節(jié)系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110450389.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113311670A 公開(kāi)（公告）日 2021-08-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN113311670A 申請(qǐng)公布日 2021-08-27
分類號(hào) G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 張俊杰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海圖雙精密裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海海貝律師事務(wù)所 代理人 宋振宇
地址 201712上海市青浦區(qū)久遠(yuǎn)路157號(hào)1幢1層?xùn)|側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種光刻機(jī)的溫度變頻調(diào)節(jié)系統(tǒng)，包括工作臺(tái)、定位機(jī)構(gòu)、溫控機(jī)構(gòu)，所述工作臺(tái)側(cè)面的移位臺(tái)車表面縱向設(shè)有組裝板，所述定位機(jī)構(gòu)包括置物平車、調(diào)位滑臺(tái)、調(diào)距桿，所述置物平車縱向設(shè)在組裝板的內(nèi)腔一端，所述調(diào)位滑臺(tái)設(shè)在工作臺(tái)上方的兩個(gè)傳動(dòng)盒之間，所述溫控機(jī)構(gòu)包括循環(huán)風(fēng)箱、溫度變送器、水冷散熱箱，所述循環(huán)風(fēng)箱的上表面設(shè)有光刻掩模板，所述溫度變送器豎直設(shè)在調(diào)距桿一端側(cè)面，所述水冷散熱箱設(shè)在調(diào)距桿外側(cè)的光刻鏡頭模組側(cè)面一端。本發(fā)明溫度變送器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)光刻鏡頭模組使用時(shí)板材表面的溫度以實(shí)現(xiàn)變頻控制，與此同時(shí)水冷散熱箱將光刻鏡頭模組表面的熱量經(jīng)換熱板輸送至水冷散熱箱以完成降溫處理，使用效果好。