光刻機載片臺清掃裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022430056.4 申請日 -
公開（公告）號 CN214108106U 公開（公告）日 2021-09-03
申請公布號 CN214108106U 申請公布日 2021-09-03
分類號 B08B5/02（2006.01）I;B08B15/04（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I;B08B3/08（2006.01）I;A61L2/18（2006.01）I;A61L101/34（2006.01）N 分類 清潔;
發(fā)明人 張俊杰 申請（專利權）人 上海圖雙精密裝備有限公司
代理機構 上海匯齊專利代理事務所（普通合伙） 代理人 朱明福
地址 200000上海市青浦區(qū)久遠路157號1幢1層東側
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了光刻機載片臺清掃裝置，包括清潔箱，所述清潔箱的下表面為開口結構，所述清潔箱的右、右側壁分別開設有螺紋孔，所述螺紋孔的內壁分別螺紋連接有螺紋頂絲，兩個所述螺紋頂絲的相對端的延伸至清潔箱的內腔，所述螺紋頂絲的外表面螺紋連接有固定螺母。該光刻機載片臺清掃裝置，通過設置清潔箱和功能箱內部的吹風機構、吸塵機構和清洗機構組成的一套清掃裝置，可以對光刻機載片臺進行吹塵、吸塵和酒精清洗消毒的組合操作，通過設置清潔箱的下表面為開口結構，可以方便將清潔箱通過滑輪移動到載片臺的上方位置，使得載片臺位于清潔箱的內腔中，使得清洗環(huán)境處于半封閉的狀態(tài)，提高了清掃的效果。