一種用于晶圓檢測的移動載臺機構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110451025.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113192875A 公開（公告）日 2021-07-30
申請公布號 CN113192875A 申請公布日 2021-07-30
分類號 H01L21/687（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張俊杰 申請（專利權(quán)）人 上海圖雙精密裝備有限公司
代理機構(gòu) 上海海貝律師事務(wù)所 代理人 宋振宇
地址 201712上海市青浦區(qū)久遠路157號1幢1層?xùn)|側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于晶圓檢測的移動載臺機構(gòu)，包括外殼，所述外殼的上表面中部固接有斗狀套，所述斗狀套的內(nèi)部設(shè)有的吸風(fēng)管，所述外殼的內(nèi)部安裝有用以帶動吸風(fēng)管升降的升降結(jié)構(gòu)，所述外殼上設(shè)有用以從吸風(fēng)管內(nèi)部抽風(fēng)的吸風(fēng)結(jié)構(gòu)，所述吸風(fēng)結(jié)構(gòu)包括：所述兩個吸風(fēng)管之間連接有連接管，所述外殼的上表面安裝有負(fù)壓風(fēng)機，負(fù)壓風(fēng)機與連接管之間連接有連接軟管，本發(fā)明中設(shè)置了吸風(fēng)管和斗狀套，吸風(fēng)管能夠在豎直方向上將晶圓定位住，斗狀套能夠在水平方向上將晶圓定位住，保證晶圓在被輸送的過程中能夠較為穩(wěn)定，本發(fā)明晶圓在斗狀套的內(nèi)部上下移動時，為連續(xù)移動，所以斗狀套可適應(yīng)任何一種尺寸的晶圓。