一種PKG用單顆UNIT自動(dòng)清洗裝置及其方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111217703.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113964069A 公開(kāi)（公告）日 2022-01-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN113964069A 申請(qǐng)公布日 2022-01-21
分類(lèi)號(hào) H01L21/673（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/02（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 郭強(qiáng);馬勉之 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 華天科技（南京）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安通大專(zhuān)利代理有限責(zé)任公司 代理人 高博
地址 211805江蘇省南京市浦口區(qū)橋林街道丁香路16號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種PKG用單顆UNIT自動(dòng)清洗裝置及其方法，裝置底座上設(shè)置有濾網(wǎng)扣蓋，單顆UNIT設(shè)置在裝置底座內(nèi)，位于裝置底座和濾網(wǎng)扣蓋之間，裝置底座的底部開(kāi)有過(guò)濾孔。采用本發(fā)明的裝置及方法進(jìn)行返工作業(yè)，可優(yōu)化現(xiàn)有流程，減少人員工作量，提升效率及返工質(zhì)量。