一種通過粘結(jié)聚四氟乙烯薄片防止陽(yáng)極框短路的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510292857.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN104947056A 公開（公告）日 2015-09-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN104947056A 申請(qǐng)公布日 2015-09-30
分類號(hào) C23C14/35(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 楊影 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 黑龍江秉達(dá)薄膜太陽(yáng)能有限公司
代理機(jī)構(gòu) 哈爾濱市松花江專利商標(biāo)事務(wù)所 代理人 黑龍江漢能薄膜太陽(yáng)能有限公司
地址 155113 黑龍江省雙鴨山市四方臺(tái)區(qū)太保鎮(zhèn)七一路888號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種通過粘結(jié)聚四氟乙烯薄片防止陽(yáng)極框短路的方法。本發(fā)明涉及一種直流磁控濺射沉積薄膜技術(shù)，具體涉及一種通過粘結(jié)聚四氟乙烯薄片防止陽(yáng)極框短路的方法。本發(fā)明為解決現(xiàn)有靶材與陽(yáng)極框短路而導(dǎo)致制程無(wú)法啟動(dòng)或異常停止的問題。一種通過粘結(jié)聚四氟乙烯薄片防止陽(yáng)極框短路的方法包括步驟一：確定粘結(jié)區(qū)域；步驟二：粘結(jié)聚四氟乙烯薄片。本發(fā)明主要用于直流磁控濺射沉積薄膜。