空氣靜壓導(dǎo)軌及空氣靜壓導(dǎo)軌的控制方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010256023.4 申請日 -
公開（公告）號 CN111322312A 公開（公告）日 2020-06-23
申請公布號 CN111322312A 申請公布日 2020-06-23
分類號 F16C32/06(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 陳萬群;滕翔宇;王斌;霍德鴻;丁輝 申請（專利權(quán)）人 蘇州智潤精工科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州威世朋知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉振龍
地址 215335江蘇省蘇州市昆山開發(fā)區(qū)前進(jìn)東路科技廣場大樓404室56號工位
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種空氣靜壓導(dǎo)軌，所述空氣靜壓導(dǎo)軌包括導(dǎo)軌、設(shè)置在所述導(dǎo)軌上側(cè)的頂板、設(shè)置在所述導(dǎo)軌下側(cè)的底板、設(shè)置在所述導(dǎo)軌兩側(cè)的兩個(gè)側(cè)板、氣控組件，所述頂板、底板和側(cè)板上均設(shè)有氣道和節(jié)流器，所述節(jié)流器設(shè)置在氣道靠近所述導(dǎo)軌的一側(cè)，所述氣控組件包括控制板和多個(gè)進(jìn)氣接口，多個(gè)所述進(jìn)氣接口與所述氣道連接，以向所述氣道內(nèi)注入空氣，所述頂板和底板上的氣道相互獨(dú)立，所述控制板控制進(jìn)入空氣壓力以改變所述頂板和底板與所述導(dǎo)軌之間的氣膜厚度。本發(fā)明的空氣靜壓導(dǎo)軌，可以對運(yùn)行的底板和頂板進(jìn)行運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償，適合高精度的檢測。??