一種雙面曝光的對(duì)準(zhǔn)裝置、方法及設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201811557789.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN109613803B | 公開（公告）日 | 2021-05-28 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN109613803B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-28 |
| 分類號(hào) | G03F9/00(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 傅志偉 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇影速科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 哈爾濱市陽(yáng)光惠遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 張勇 |
| 地址 | 221000 江蘇省徐州市邳州市恒山路西側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種雙面曝光的對(duì)準(zhǔn)裝置、方法及設(shè)備，屬于印刷線路板技術(shù)領(lǐng)域。所述裝置包括：包括定位標(biāo)記、打標(biāo)標(biāo)記和位置獲取裝置，在每一件待曝光樣品曝光之前都通過(guò)位置獲取裝置獲取定位標(biāo)記的位置信息，從而獲知定位標(biāo)記的在實(shí)際生產(chǎn)中的位置變化量，由于打標(biāo)標(biāo)記和定位標(biāo)記的相對(duì)位置不變，所以即獲知到打標(biāo)標(biāo)記在實(shí)際生產(chǎn)中的位置變化量，根據(jù)該位置變化量實(shí)時(shí)調(diào)整待曝光樣品的另一面曝光圖形的位置，解決了現(xiàn)有技術(shù)無(wú)法實(shí)時(shí)對(duì)打標(biāo)標(biāo)記進(jìn)行實(shí)時(shí)定位而引起的曝光對(duì)位不準(zhǔn)的問(wèn)題，提高了待曝光樣品雙面對(duì)準(zhǔn)的精度。?? |
