一種適于制造大尺寸高純度多晶硅鑄錠的真空爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200810033908.7 申請日 -
公開（公告）號 CN101311343B 公開（公告）日 2010-12-08
申請公布號 CN101311343B 申請公布日 2010-12-08
分類號 C30B29/06(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I;C30B11/00(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 徐煒 申請（專利權(quán)）人 上海晨安電爐制造有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海京滬專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 沈美英
地址 201804 上海市嘉定區(qū)黃渡工業(yè)園區(qū)春濃路278號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種適于制造大尺寸高純度多晶硅鑄錠的真空爐，保溫罩設(shè)置為可升降式，由伺服直線運(yùn)動機(jī)構(gòu)和一端固定設(shè)置在保溫罩頂部上的連動桿組成的升降機(jī)構(gòu)主體安裝設(shè)置在爐蓋上，供電部件中的電極設(shè)置為水冷式，位于爐內(nèi)的輸電電纜設(shè)置為柔性水冷式。由于料臺和坩堝設(shè)置為可免受升降機(jī)構(gòu)的工作干擾、有利于確保結(jié)晶質(zhì)量的固定式，坩堝內(nèi)部容積的大小只與料臺的承載能力有關(guān)，便于設(shè)置大容量的坩堝，且采用了具有確保可靠工作壽命的水冷式上下電極和水冷式柔性電纜，便于保溫罩的自由升降，結(jié)構(gòu)科學(xué)且合理，工作可靠且壽命長，產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定且純度高，適于生產(chǎn)大尺寸、高純度的多晶硅鑄錠，具有很強(qiáng)的實用性。