一種硅片堿腐蝕工藝及其應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811393404.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN111211049A 公開(kāi)（公告）日 2020-05-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN111211049A 申請(qǐng)公布日 2020-05-29
分類(lèi)號(hào) H01L21/306;H01L31/0236;B81C1/00;H01M8/0258 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 胡浩洋;朱景兵 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 上海尚理投資有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 200020 上海市黃浦區(qū)皋蘭路27號(hào)底層?xùn)|
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種硅片堿腐蝕工藝及其應(yīng)用，采用可與水發(fā)生反應(yīng)且生成翻新堿的金屬氧化物,且翻新堿可與SiO32?發(fā)生反應(yīng)生成可采用分離方法去除的不溶于水的硅酸鹽，用于實(shí)現(xiàn)對(duì)堿性水溶液的翻新，通過(guò)翻新使得堿性水溶液的堿濃度維持不低于其預(yù)設(shè)最低值的狀態(tài)或延長(zhǎng)其維持不低于堿濃度的預(yù)設(shè)最低值的時(shí)間；且同時(shí)通過(guò)翻新實(shí)現(xiàn)將堿性水溶液的SiO32?反應(yīng)轉(zhuǎn)換為不溶于水的硅酸鹽，使得SiO32?的濃度減少；本發(fā)明能夠明顯改善長(zhǎng)時(shí)間處于強(qiáng)堿性溶液的操作環(huán)境、減少?gòu)U液的產(chǎn)生，進(jìn)而顯著地降低了工藝的物料和環(huán)境成本、且明顯改善了工藝操作環(huán)境；同時(shí)可以明顯提升本發(fā)明硅片堿腐蝕的工藝質(zhì)量，而且可以有效減少產(chǎn)線的停機(jī)時(shí)間，提高生產(chǎn)能力和生產(chǎn)效率。