雙層懸浮紅外熱電堆的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110662164.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113394333A 公開(kāi)（公告）日 2021-09-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN113394333A 申請(qǐng)公布日 2021-09-14
分類(lèi)號(hào) H01L35/34（2006.01）I;H01L35/32（2006.01）I;G01J5/12（2006.01）I;G01J5/14（2006.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 倪藻;李偉 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 上海迷思科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專(zhuān)利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 盧炳瓊
地址 201306上海市浦東新區(qū)中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)環(huán)湖西二路888號(hào)C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種雙層懸浮紅外熱電堆的制備方法，通過(guò)形成位于紅外吸收層下且覆蓋刻蝕窗口的硅犧牲層，可在最后一道步驟中同時(shí)釋放紅外吸收層及熱電偶復(fù)合層，形成包括第一層懸浮結(jié)構(gòu)及第二層懸浮結(jié)構(gòu)的雙層懸浮紅外熱電堆，從而可有效降低工藝復(fù)雜度、提高成品率，有利于實(shí)現(xiàn)紅外熱電堆的小型化和高性能。