雙層懸浮紅外熱電堆及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110662171.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113394331A 公開（公告）日 2021-09-14
申請公布號 CN113394331A 申請公布日 2021-09-14
分類號 H01L35/32（2006.01）I;H01L35/34（2006.01）I;G01J5/12（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 倪藻;李偉 申請（專利權(quán)）人 上海迷思科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 盧炳瓊
地址 201306上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)環(huán)湖西二路888號C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種雙層懸浮紅外熱電堆及其制備方法，通過在紅外吸收層吸收部下引入導(dǎo)熱反射層，可提高吸收率，并將熱量更快、更多地集中到熱結(jié)端，有利于增大探測信號，提高探測性能；進(jìn)一步的，通過設(shè)置預(yù)設(shè)犧牲層，使得具有較小寬度的刻蝕窗口即可形成具有較大寬度的隔熱空腔，可提高熱電堆的結(jié)構(gòu)布局的靈活性，提高器件空間利用率；進(jìn)一步的，可在最后一道步驟中同時(shí)形成雙層懸浮紅外熱電堆，從而可有效降低工藝復(fù)雜度、提高成品率，有利于實(shí)現(xiàn)紅外熱電堆的小型化和高性能。本發(fā)明的雙層懸浮紅外熱電堆采用單面加工的加工方法，具有工藝簡單、成品率高的優(yōu)點(diǎn)，適合大批量生產(chǎn)。