雙層懸浮紅外熱電堆的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110660953.0 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN113394332A 公開（公告）日 2021-09-14
申請公布號(hào) CN113394332A 申請公布日 2021-09-14
分類號(hào) H01L35/34;H01L35/32;G01J5/12 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 倪藻;李偉 申請（專利權(quán)）人 上海迷思科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 盧炳瓊
地址 201306 上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)環(huán)湖西二路888號(hào)C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種雙層懸浮紅外熱電堆的制備方法，通過基底中的第一犧牲層，以及在熱電偶復(fù)合層中形成顯露第一犧牲層的刻蝕窗口，從而通過具有較小寬度的刻蝕窗口即可形成具有較大寬度的隔熱空腔，可提高熱電堆的結(jié)構(gòu)布局的靈活性，提高器件空間利用率；進(jìn)一步的，通過形成位于紅外吸收層下且覆蓋刻蝕窗口的第二犧牲層，可在最后一道步驟中同時(shí)釋放紅外吸收層及熱電偶復(fù)合層，形成包括第一層懸浮結(jié)構(gòu)及第二層懸浮結(jié)構(gòu)的雙層懸浮紅外熱電堆，從而可有效降低工藝復(fù)雜度、提高成品率，有利于實(shí)現(xiàn)紅外熱電堆的小型化和高性能。