傳感器芯體元件的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110231010.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113097051A 公開（公告）日 2021-07-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN113097051A 申請(qǐng)公布日 2021-07-09
分類號(hào) H01L21/02（2006.01）I;G01B7/16（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉素夫;徐建;雷衛(wèi)武;彭山 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 松諾盟科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長沙和誠容創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉明玉
地址 410300湖南省長沙市瀏陽經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)湘臺(tái)路18號(hào)長沙E中心A5棟3、4層01、02號(hào)房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種傳感器芯體元件的制備方法。傳感器芯體元件的制備方法包括步驟：提供一敏感彈性體，敏感彈性體包括彈性基體及制作于彈性基體上的敏感電路；對(duì)敏感彈性體進(jìn)行均膠、曝光、顯影、豎膜、蝕刻等處理，以得到傳感器芯體；對(duì)傳感器芯體進(jìn)行二氧化硅鍍膜，以在傳感器芯體表面形成保護(hù)膜；利用二價(jià)酸酯溶劑去除傳感器芯體焊盤位上的光刻膠及附著于光刻膠上的二氧化硅，以得到芯體元件；對(duì)芯體元件進(jìn)行清洗處理；對(duì)清洗后的芯體元件進(jìn)行烘干處理。上述方法的使用，在芯體元件的制備過程中可避免使用劇毒且環(huán)境極不友好的氫氟酸、氟化氨，降低了在芯體元件加工過程中對(duì)人體健康及生態(tài)環(huán)境所造成的傷害，使得傳感器芯體元件的制備更為安全。