一種在圖形化藍(lán)寶石襯底上生長氮化鎵外延層的加工裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010774402.2 申請日 -
公開（公告）號 CN112071962B 公開（公告）日 2022-04-26
申請公布號 CN112071962B 申請公布日 2022-04-26
分類號 H01L33/00（2010.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐宏;龔樺;周德金;黃偉;吳超;于理科;夏泳 申請（專利權(quán)）人 清華大學(xué)無錫應(yīng)用技術(shù)研究院
代理機(jī)構(gòu) 北京和信華成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 胡劍輝
地址 214062江蘇省無錫市濱湖區(qū)建筑西路777號A3幢13樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種在圖形化藍(lán)寶石襯底上生長氮化鎵外延層的加工裝置，包括加工箱體，加工箱體內(nèi)壁的底部固定連接有轉(zhuǎn)動電機(jī)，所述轉(zhuǎn)動電機(jī)的輸出端固定連接有加工臺，所述加工臺上設(shè)置有夾緊機(jī)構(gòu)，所述加工箱體內(nèi)壁之間的上方固定連接有固定板，所述加工箱體的內(nèi)部設(shè)置有調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)（6）；該加工裝置利用加熱管產(chǎn)生的高溫使得加工箱體內(nèi)部產(chǎn)生高溫環(huán)境，滿足藍(lán)寶石襯底上生長氮化鎵外延層的加工時所需的高溫環(huán)境，結(jié)構(gòu)簡單，成本低，方便快速的調(diào)節(jié)藍(lán)寶石襯底上生長氮化鎵外延層的溫度條件的問題。