無(wú)線無(wú)源LC壓力傳感器及制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810799263.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109297621B 公開(kāi)（公告）日 2021-07-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN109297621B 申請(qǐng)公布日 2021-07-30
分類號(hào) G01L1/14（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 王東;樂(lè)砥柱;王上衡;朱建華;吳猛雄 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中國(guó)振華（集團(tuán)）科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳中一聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李艷麗
地址 518000廣東省深圳市龍華新區(qū)清湖和平路東路振華工業(yè)園4樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種無(wú)線無(wú)源LC壓力傳感器及制造方法，該制造方法包括步驟：分別制作第一生瓷片、第二生瓷片和第三生瓷片；在第三生瓷片上加工出第一通孔和第二通孔，在第一生瓷片上印刷第一電極極板、電感線圈和導(dǎo)電板；在第二生瓷片上印刷第二電極極板、導(dǎo)電片和導(dǎo)電線；再分別燒結(jié)，再疊壓并使用玻璃漿料連接封裝，并將導(dǎo)電片與導(dǎo)電板電性相連。本發(fā)明將第一生瓷片、第二生瓷片和第三生瓷片分開(kāi)利用低溫?zé)Y(jié)工藝分別得到第一基板、第二基板和第三基板，從而可以良好控制第一基板、第二基板和第三基板的厚度；再進(jìn)行疊壓后使用玻璃漿料連接封裝，能精確控制第一電極極板與第二電極極板之間的間距，可以保證電容腔體的一致性和平整度。